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仁睿电子科技(图)-真空镀膜LOGO定制-虎门真空镀膜

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电场对离化的蒸气份子的加快感化(离子能量约几百~几千电子伏)和离子对基片的溅射洗濯感化,使膜层附着强度大大进步。离子镀工艺综合了蒸发(高堆积速率)与溅射(良好的膜层附着力)工艺的特色,并有很好的绕射性,可为外形繁杂的工件镀膜。接通高频电源后,高频电压赓续转变极性。等离子体中的电子和正离子在电压的正半周和负半周分离打到绝缘靶上。因为电子迁徙率高于正离子,绝缘靶外面带负电,








光学镀膜理论要理解光学镀膜,就必须理解折射和反射的菲涅耳方程。折射是波从一种光学介质传播到另一种介质时传播方向的变化,它受斯涅尔折射定律决定:

(1)n1sinθ1=n2sinθ2n1sin⁡θ1=n2sin⁡θ2

其中,n1 是入射媒介的折射率,θ1 是入射光线的角度,n2 是折射/反 射介质的指数,θ2 是折射/反射光线的角度



不同镀膜技术的比较 (IAD:离子辅助沉积,IBS:离子束溅射,ALD:原子层沉积)蒸发沉积在蒸发沉积过程中,真空室中的源材料通过加热或电子束轰击进行蒸发。在蒸发过程中,蒸汽冷凝到光学表面并控制加热、真空压力、基片定位和旋转,使特定设计厚度的光学镀膜保持均匀。与本部分所述的其他技术相比,蒸发沉积可以容纳更大的镀膜机尺寸,而且通常更经济有效。